硅化钛粉

基本信息

中文名称：硅化钛粉

英文名称：Titanium disilicide powder

分子式：TiSi₂

分子量：104.04

CAS#：12039-83-7

熔点：1540℃

密度（20℃）：4.39 g/cm³

外观形态：黑色粉体

电阻率：C49ρ=60~100 μΩ·cm，C54ρ=12~20 μΩ·cm

溶解度：溶于氢氟酸，不溶于水。

储存方法：储存于阴凉、通风的库房，切忌混储，保持容器密封，远离火种，库房必须安装避雷设备。

制备硅化钛粉的目的是为了得到低电阻的TiSi₂，C54相的TiSi₂具有与金属本体相当的电阻率。硅化钛（TiSi₂）粉具有非常理想的特性：高的导电性，高的选择性，好的热稳定性，对硅好的吸附性，好的工艺适应性和对硅连接参数的低干扰。

硅化钛粉在集成电路器件中被广泛应用于金属氧化物半导体（MOS），金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）和动态随机存储器（DRAM）的门、源/漏极、互联和欧姆接触的制造当中。

（1）可制备一种硅化钛阻挡层；

（2）制备一种原位合成硅化钛(Ti₅Si₃)颗粒增强铝碳化钛(Ti₃AlC₂)基复合材料；

（3）制备复合功能硅化钛镀膜玻璃；

（4）制备一种半导体元件，包括一硅衬底，硅衬底上形成有栅极、源极和漏极，栅极和硅衬底之间形成有一层绝缘层；

福斯曼硅化钼粉产品可提供微米级别等不同粒度的产品。

已实现工业化生产的硅化钼粉产品粒度有5 μm。纯度可达99.5 %，99.9 %。

针对实验室需求，我们一般有500 g，1 kg，等包装规格，以满足实验室研究用户的需求，可以按照客户投料数量定制包装规格。

图 | 2206001 硅化钛粉 5 μm

图 | 硅化钛粉产品包装