硅化钛粉
基本信息
中文名称：硅化钛粉
英文名称：Titanium disilicide powder
分子式：TiSi2
分子量：104.04
CAS#：12039-83-7
熔点：1540℃
密度（20℃）：4.39 g/cm³
外观形态：黑色粉体
电阻率：C49ρ=60~100 μΩ·cm，C54ρ=12~20 μΩ·cm
溶解度：溶于氢氟酸，不溶于水。
储存方法：储存于阴凉、通风的库房，切忌混储，保持容器密封，远离火种，库房必须安装避雷设备。
产品用途
制备硅化钛粉的目的是为了得到低电阻的TiSi2，C54相的TiSi2具有与金属本体相当的电阻率。硅化钛（TiSi2）粉具有非常理想的特性：高的导电性，高的选择性，好的热稳定性，对硅好的吸附性，好的工艺适应性和对硅连接参数的低干扰。
硅化钛粉在集成电路器件中被广泛应用于金属氧化物半导体（MOS），金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）和动态随机存储器（DRAM）的门、源/漏极、互联和欧姆接触的制造当中。
（1）可制备一种硅化钛阻挡层；
（2）制备一种原位合成硅化钛(Ti5Si3)颗粒增强铝碳化钛(Ti3AlC2)基复合材料；
（3）制备复合功能硅化钛镀膜玻璃；
（4）制备一种半导体元件，包括一硅衬底，硅衬底上形成有栅极、源极和漏极，栅极和硅衬底之间形成有一层绝缘层；
产品优势
福斯曼硅化钼粉产品可提供微米级别等不同粒度的产品。
已实现工业化生产的硅化钼粉产品粒度有5 μm。纯度可达99.5 %，99.9 %。
针对实验室需求，我们一般有500 g，1 kg，等包装规格，以满足实验室研究用户的需求，可以按照客户投料数量定制包装规格。
产品展示
图 | 2206001 硅化钛粉 5 μm
图 | 硅化钛粉产品包装
